石河子大学学报
多晶硅冷氢化过程模拟研究
王绪根, 李梦丽, 徐壮, 郭俊恒, 高素芳
Simulation study on cold hydrogenation process of polysilicon
WANG Xugen , LI Mengli , XU Zhuang , GUO Junheng , GAO Sufang
石河子大学学报 . 2021, (6): 661 -667 .  DOI: 10. 13880 /j．cnki．65－1174 /n．2021. 21. 053

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