载体驱动硅微机械陀螺的电学模型研究

张楠, 文江川, 张福学

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石河子大学学报
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石河子大学学报 ›› 2006, Vol. 24 ›› Issue (3) : 325-328.

载体驱动硅微机械陀螺的电学模型研究

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Research on Electrical Model of Silicon Micromachined Gyroscope Driven by Carrier

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