多晶硅工艺中低聚氯硅烷催化裂解制单硅烷的研究

doi:10.13880/j.cnki.65-1174/n.2022.21.010

赵文龙, 籍煜雯, 彭文才, 张建树, 张金利, 王西玉, 郑盛涛, 万伟

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石河子大学学报 ›› 2022, Vol. 40 ›› Issue (3) : 278-283. DOI: 10.13880/j.cnki.65-1174/n.2022.21.010

化工·材料·食品

多晶硅工艺中低聚氯硅烷催化裂解制单硅烷的研究

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Study on the catalytic cracking of oligochlorosilane to produce monosilanesin poly-Si process

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2021-02-23	2022-06-20
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2022-12-07

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