多晶硅冷氢化过程模拟研究

doi:10. 13880 /j．cnki．65－1174 /n．2021. 21. 053

多晶硅冷氢化过程模拟研究

王绪根, 李梦丽, 徐壮, 郭俊恒, 高素芳

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石河子大学学报 ›› 2021, Vol. 39 ›› Issue (6) : 661-667. DOI: 10. 13880 /j．cnki．65－1174 /n．2021. 21. 053

化工·材料·食品

多晶硅冷氢化过程模拟研究

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Simulation study on cold hydrogenation process of polysilicon

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2020-12-08	2021-12-01
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2023-10-13

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